Invisix — компания, занимающаяся метрологией полупроводников
Инструменты измерения следующего поколения для передового производства микросхем приобрели
переоценённый стартовый раунд на 20 миллионов евро. Финансирование включает участие
от Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co.,
и производителя полупроводников первого уровня.

По мере того как полупроводниковые устройства становятся меньше и больше,
Всё сложнее измерять критические структуры внутри продвинутых микросхем
всё сложнее. Производители должны проверять каждый слой перед добавлением
Во-вторых, традиционные инструменты оптической метрологии уже не могут разрешать многие из них
Скрытые особенности, определяющие производительность устройства. По мере того как эти чипы питаются
высокопроизводительные вычисления и искусственный интеллект — спрос на более быстрые технологии растёт,
Неразрушительные методы измерения, которые могут повысить урожайность и ускорить
производство.

Основанная выпускниками ASML и аспирантами физиков Кристиной Портер и Ситсе ван дер Пост, компания Invisix разрабатывает метрологию мягких рентгеновских лучей
Платформа, разработанная для обеспечения высокообъёмных, неразрушительных измерений некоторых из
самые сложные полупроводниковые конструкции.

По словам Кристины Портер, доктора философии, соучредителя и генерального директора
Invisix, растущая сложность и трёхмерность продвинутого
Полупроводники стимулируют спрос на новое поколение метрологических инструментов
способный проверять критически важные внутренние конструкции без повреждения устройств.

Мы выходим на рынок с технологиями, которые
инкубировался внутри ASML более десяти лет — уровень технического уровня
снижение рисков, что необычно для компании, работающей на стартовой стадии, и это даёт нам
Клиентам — более быстрый путь к внедрению.

Технология компании основана на High Harmonic
Генерация (HHG) — процесс, основанный на научных открытиях, признанных
Нобелевская премия по физике 2023 года. HHG использует короткоимпульсный лазер для возбуждения благородного газа
атомы переходят в высокоэнергетическое состояние, из-за чего они излучают мягкие рентгеновские лучи
Несколько длин волн. Это генерирует более богатый трёхмерный сигнал, чем
обычные лазерные системы с одной длиной волны.

Сочетая HHG с проприетарной реконструкцией
алгоритмы и машинное обучение, Invisix воссоздаёт детали
трёхмерные изображения внутренних структур устройств без повреждения
Вафля. Архитектура системы также разработана для обеспечения пропускной способности
требуется для массового производства полупроводников.

Invisix применяется к метрологии по тому же принципу, что и
трансформированная полупроводниковая литография: по мере уменьшения размеров устройства
Длина волны, используемая для их измерения, тоже должна уменьшаться. С помощью мягких рентгеновских лучей
Компания стремится обеспечить видимость зарытых наноструктур, которые
всё более недоступным для традиционных методов оптического осмотра.

Технология уже была проверена
отраслевое сотрудничество, включая работу с Intel и imec, а также компанию
продолжает демонстрации клиентов из нового чистого помещения в Эйндховене.
Invisix сейчас сосредоточена на выводе своей первой коммерческой системы на рынок и
что позволяет производителям полупроводников измерять следующее поколение передовых
устройства в масштабах производства.

Финансирование будет использовано для расширения команды Invisix,
ускорить разработку своей первой коммерческой системы и поддержать клиента
демонстрации в новом чистом помещении компании в Эйндховене.